Рис. 7. Датчики давления: 1 - потенциометр; 2 - корпус мембранного механизма; 3 - мембрана; 4 - рабочая пружина; 5 - шток; 6 - амортизатор; 7 - стальной магнитопровод; 8 - первичная обмотка; 9 - мембранная камера; 10 - корпус; 11 - вторичная обмотка; 12 - электрические контакты; 13 - полупроводниковые тензорезисторы; 14 - контактные площадки
В бесконтактных индуктивных датчиках давления (рис. 7, б) при перемещении чувствительного элемента изменяются воздушный зазор в магнитопроводе, его магнитное сопротивление и индуктивность катушки, которая включена в измерительный мост. При разбалансировке моста появляется электрический сигнал, поступающий в блок управления.
Применение микроэлектронной технологии позволило перейти к полностью статическим конструкциям датчиков. На рис. 7, в показан интегральный датчик давления с полупроводниковыми тензоэлементами.